Atelier sur la préparation des substrats pour l'épitaxie
22-24 mai 2018, Villeneuve d'Ascq (IEMN)
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Présentations invitées
Programme
Semaine
Mar. 22
Mer. 23
Jeu. 24
Liste
Mar. 22
Mer. 23
Jeu. 24
09:00
10:00
11:00
12:00
13:00
14:00
15:00
16:00
17:00
18:00
19:00
20:00
21:00
22:00
23:00
Session: Préparation de surface pour l’intégration hétérogène
La préparation du Silicium pour l'hétéroépitaxie
Pause café
La préparation des substrats SOI pour l'intégration hétérogène
14:00 - 17:30 (3h30)
Session: Préparation de surface pour l’intégration hétérogène
14:00 - 15:30 (1h30)
La préparation du Silicium pour l'hétéroépitaxie
Charles Cornet (INSA Rennes)
15:30 - 16:00 (30min)
Pause café
16:00 - 17:30 (1h30)
La préparation des substrats SOI pour l'intégration hétérogène
Christophe Figuet (SOITEC)
Session: Structuration des substrats par gravure
La préparation des substrats de Si pour la croissance de nanostructures SiGe
Pause café
La préparation des substrats III-V pour la reprise d’épitaxie
9:00 - 12:30 (3h30)
Session: Structuration des substrats par gravure
9:00 - 10:30 (1h30)
La préparation des substrats de Si pour la croissance de nanostructures SiGe
Luc Favre (IM2NP)
10:30 - 11:00 (30min)
Pause café
11:00 - 12:30 (1h30)
La préparation des substrats III-V pour la reprise d’épitaxie
Chantal Fontaine (LAAS) & Laurent Cerutti (IES)
Déjeuner
12:30 - 14:00 (1h30)
Déjeuner
Session: L'épitaxie sélective III-Nitrures
Croissance sélective de matériaux nitrures : technologies et applications aux structures émissives
14:00 - 15:30 (1h30)
Session: L'épitaxie sélective III-Nitrures
14:00 - 15:30 (1h30)
Croissance sélective de matériaux nitrures : technologies et applications aux structures émissives
Guy Feuillet (CEA-LETI)
Pause café
15:30 - 16:00 (30min)
Pause café
Session: Posters
16:00 - 18:30 (2h30)
Session: Posters
Dîner
20:00 - 23:00 (3h)
Dîner
Session: Croissance VLS et croissance sélective de matériaux III-V
Préparation des substrats pour la croissance VLS de nanofils
Pause café
Préparation des substrats pour la croissance sélective de nanostructures III-V
9:00 - 12:30 (3h30)
Session: Croissance VLS et croissance sélective de matériaux III-V
9:00 - 10:30 (1h30)
Préparation des substrats pour la croissance VLS de nanofils
Sébastien Plissard (LAAS)
10:30 - 11:00 (30min)
Pause café
11:00 - 12:30 (1h30)
Préparation des substrats pour la croissance sélective de nanostructures III-V
Ludovic Desplanque (IEMN)
Déjeuner
12:30 - 14:00 (1h30)
Déjeuner
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1
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